华海清科首台12英寸低温离子注入机iPUMA-LT顺利出机

来源：华海清科 2025-07-15 11:03:39

7月14日，华海清科股份有限公司（简称“华海清科”，股票代码：688120）全资子公司芯嵛半导体（上海）有限公司自主研发的首台12英寸低温离子注入机iPUMA-LT顺利出机，发往国内逻辑芯片制造领域龙头企业。这一重要时刻标志着华海清科成功实现面向先进制程芯片制造的大束流离子注入机各型号的全覆盖。

据了解，离子注入装备是集成电路制造前道工艺的关键装备，技术壁垒高，国内集成电路制造企业主要依赖进口装备，国产替代空间巨大。为此，华海清科着力打造高端离子注入装备，本次发往客户端的低温离子注入机，不仅继承了最新一代大束流离子注入机iPUMA-LE的先进设计，在拥有更大束流、更好均匀性及更精准角度控制的同时，采用了耐低温静电载盘技术，以全套自主研发的国产化温控系统，成功实现了工艺温度的精准闭环控制，其性能已达到国际主流工艺水平。iPUMA-LT有效解决了离子注入中晶格缺陷无法完全修复的难题，显著提升片间重复性，提高芯片性能和良率。此外，该装备利用低温物理效应提升非晶化效率，有效抑制“隧道效应”，实现更浅结深，在满足晶圆代工厂量产需求的基础上，为先进制程的研发与量产提供了有力支持。

华海清科表示，目前，华海清科已推出大束流离子注入机系列装备，并积极布局中束流离子注入机及高能离子注入机等系列装备，可满足逻辑芯片、存储芯片、功率半导体、CIS（图像传感器）以及硅片制造等应用领域对高质量、大规模制造的严苛需求。其中，大束流离子注入机系列装备均已发往多家客户端并成功验证通过，获得了客户的高度认可与赞赏。

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